I chip MEMS sono utilizzati principalmente nei sensori MEMS sta per «Microelectromechanical systems» (sistemi microelettromeccanici). Combinano proprietà elettriche e non elettriche come proprietà termiche, fluidiche o ottiche. I chip MEMS sono realizzati in modo simile ai chip regolari mettendo strutture su wafer. Non è ancora possibile testare i chip MEMS sul wafer. Questo perché questi chip devono anche essere testati per le proprietà non elettriche. Il progetto Meteorite II si basa sui risultati di METEORIET I, che ha sviluppato un'innovativa tecnologia di test precoce dei wafer per chip MEMS. L'obiettivo è convalidare questa tecnologia e quindi rafforzare ulteriormente la valle dei test nei Paesi Bassi orientali. Ciò attirerà più aziende che vogliono dimostrare i loro chip avanzati a Twente. Grazie alle economie di scala, ciò dovrebbe comportare costi di prova inferiori e volumi più elevati. Ma anche chip MEMS di migliore qualità