Čipi MEMS se uporabljajo predvsem v senzorjih, pri čemer MEMS pomeni „mikroelektromehanski sistemi“. Združujejo električne in neelektrične lastnosti, kot so toplotne, fluidne ali optične lastnosti. MEMS čipi so izdelani na podoben način kot običajni čipi z namestitvijo struktur na rezine. Na rezini še ni mogoče preskusiti čipov MEMS. To je zato, ker je treba te čipe testirati tudi za neelektrične lastnosti. Projekt Meteorite II temelji na rezultatih projekta METEORIET I, ki je razvil inovativno tehnologijo zgodnjega testiranja rezin za čipe MEMS. Cilj je potrditi to tehnologijo in tako dodatno okrepiti preskusno dolino na vzhodu Nizozemske. To bo pritegnilo več podjetij, ki želijo pokazati svoje napredne čipe v Twente. Z ekonomijo obsega bi to moralo privesti do nižjih stroškov testiranja in večjih količin. Toda tudi kakovostnejši čipi MEMS